[22p-P05-1~3] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[22p-P05-2] 4H-SiCエピタキシャルウェハの3C積層欠陥のラマン解析

〇間所 結美¹、蓮池 紀幸¹、一色 俊之¹、小林 健二²、藤谷 武史² (1.京都工繊大、2.（株）日立ハイテク)

キーワード：

4H-SIC,3C積層欠陥,ラマン分光