講演情報
[22p-P05-3]4H-SiC PiN ダイオードで発生した対向三角形状積層欠陥の解析
〇太田 千春1、西尾 譲司1、飯島 良介1 (1.東芝研開センター)
キーワード：
SIC,基底面転位,積層欠陥
4H-SiCに内在する基底面転位(BPD)の単一ショックレー型積層欠陥(1SSF)への拡張現象は、BPDを構成する部分転位の 構造および組み合わせにより拡張形状が決定すると理解され ている。一方、非典型形状 1SSFも観察されており、それらの拡張様式 の理解は進んでいない。今回、対向した三角形状をもつ1SSFの拡張現象に関し、光学評価および構造評価を行い、拡張様式および元のBPD構造を推定した。