講演情報
[22p-P07-12]高純度半導体型カーボンナノチューブの直径と抵抗温度係数の関係
〇宮本 俊江1,2、田中 朋1,2、宮崎 孝1,2、金折 恵2、殿内 規之1,2、渋谷 明信1,2、斎藤 毅2、桒原 有紀2、橋本 剛3、弓削 亮太1,2 (1.NEC、2.産総研、3.㈱名城ナノカーボン)
キーワード：
カーボンナノチューブ,赤外線センサ,ナノチューブ
ボロメータ型赤外線イメージセンサは、セキュリティ用の監視カメラ、人体のサーモグラフィー、移動体用カメラ等様々な用途があり、産業利用が活性化している。現在、高感度且つ低コスト化が主な課題であり、ボロメータ材料の抵抗温度係数（TCR：Temperature Coefficient of Resistance）の向上や低抵抗化が有効な手段となる。本研究では、異なる半導体型カーボンナノチューブの構造分析およびそれらを使ったボロメータ素子の作製・評価を行った。