[22p-P07-1~67] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[22p-P07-48] 光励起キャリアを利用した TMD 多層膜の異方性ウェットエッチング

〇村中 柊都¹、堀川 尚豊¹、石川 亮佑¹、星 裕介¹ (1.東京都市大学)

キーワード：

遷移金属ダイカルコゲナイド,異方性ウェットエッチング