講演情報

[22p-P07-50]CVD成長した多層hBNのラマンスペクトルのショルダーピークの解析

〇小子内 行羅1、Solís-Fernández Pablo2、深町 悟2、吾郷 浩樹1,2 (1.九大院総理工、2.九大GIC)

キーワード:

六方晶窒化ホウ素,ラマン分光,化学気相成長

ボラジン(B3N3H6)を前駆体,Fe-Ni合金箔を触媒としたCVD法により多層hBNを合成した場合,山状の三角形グレインが点在して得られることがある。hBNのラマンスペクトルには,面内振動に由来するE2gバンドが1367~1370 cm-1に現れるが,山状グレインでは,通常のE2gバンドとともに高波数側にショルダーピークが観察されることが多い。本研究では,このショルダーピークに着目し,解析を行った。