講演情報
[23a-12H-4]バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜
〇(B)片貝 有作1、勅使河原 明彦1、吉田 慎哉1 (1.芝浦工大工)
キーワード：
圧電微小超音波トランスデューサ,圧電薄膜
最新のMEMS技術では、圧電単結晶が新たなトランスデューサ薄膜として注目されています。特に、Pb(Zr,Ti)O3（PZT）単結晶薄膜は高性能な圧電微小超音波トランスデューサの可能性を秘めていますが、単結晶の脆さが課題です。この課題に対処するために、単結晶・多結晶コンポジット薄膜が提案されており、亀裂の伝播を多結晶体で抑制することで脆性が改善されます。しかし、これまでの製造工程は複雑で歩留まりに課題がありました。本研究では、より簡便なウェットエッチングを使用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜の新しい作製方法を開発しました。