講演情報
[23a-12H-7]シード層膜厚がSi基板上(100)BiFeO3薄膜の結晶構造におよぼす影響
〇(B)高城 明佳1、Aphayvong Sengsavang1、高木 昂平1、藤村 紀文1、吉村 武1 (1.阪公大工)
キーワード：
強誘電体薄膜,エピタキシャル膜,BiFeO3
BiFeO3は非鉛の強誘電体として様々な応用が模索されている。我々は高感度圧電MEMSセンサの薄膜材料として着目しており、結晶構造制御による圧電特性の向上に取り組んでいる。前回、我々はスパッタ法を用いて(100)Si基板上に(100)BiFeO3エピタキシャル積層膜を形成できること、得られたBiFeO3薄膜は面内方向に歪んだMB構造となっていることを報告した。本発表ではシード層の厚みがBiFeO3薄膜の結晶構造におよぼす影響を詳細に調べた結果を発表する。