講演情報
[23a-12J-1]MOSFET寄生抵抗ばらつきの直接測定可能性検討
〇竹内 潔1、水谷 朋子1、更屋 拓哉1、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研)
キーワード：
寄生抵抗抽出,ばらつき,MOSFET
単一デバイスの電流対電圧特性から寄生抵抗を抽出する手法を、多数の同一設計素子に適用することで寄生抵抗のばらつきを直接評価することが可能かを検討した。その結果、抽出値は他のデバイス・パラメータと妥当な相関を示さず正しいばらつき評価ができないことが判明した。これは寄生抵抗以外のばらつきが抽出結果に干渉するためであり、本単一デバイス抽出手法を正しく機能させるには多数素子の平均化により種々のばらつきを削減することが必須である。