2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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9:15 〜 9:30
[23a-12J-2]
MOSFETのミリケルビン温度帯サブスレッショルド特性の理論検討
〇浅井 栄大
1
、岡 博史
1
、稲葉 工
1
、下方 駿佑
1
、由井 斉
1
、更田 裕司
1
、飯塚 将太
1
、加藤 公彦
1
、中山 隆
1
、森 貴洋
1
(1.産総研)
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キーワード:
半導体,極低温動作CMOS,サブスレッショルド特性
本研究ではキャリア捕獲型の新しいバンド端準位モデルを構築し、極低温MOSFETのSS特性の数値シミュレーションを行った。
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