講演情報
[23a-12K-2]Ti/Au 積層電気金めっき錘の反り変形の熱処理温度依存性評価
〇(B)森 達彦1、栗岡 智行1、Chen Chun-Yi1、Chang Tso-Fu Mark1、町田 克之1、伊藤 浩之1、三宅 美博1、曽根 正人1 (1.東工大)
キーワード：
MEMS加速度センサ,反り,熱処理
金材料を用いたMEMS 加速度センサに搭載される Ti/Au 積層電気金めっき錘において、製作過程の熱処理に伴い錘の角部分が反り変形する。本研究では、熱処理温度と錘の反り変形の関係を明らかにすることを目的として、設計した八角形構造のTi/Au 積層電気金めっき錘を異なる温度で段階的に熱処理し、錘の反り変形と熱処理温度の関係を調査した。