[23a-12K-1~8] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術 | 2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2024年3月23日(土) 9:00 〜 11:15

12K (1号館)

曽根正人(東工大)、呉研(東工大)

9:00 〜 9:15

〇(M1)宮井良介¹、栗岡智行¹、Chun-Yi Chen¹、Tso-Fu Mark Chang¹、町田克之¹、伊藤浩之¹、三宅美博¹、曽根正人¹ (1.東工大)

9:15 〜 9:30

〇(B)森達彦¹、栗岡智行¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、町田克之¹、伊藤浩之¹、三宅美博¹、曽根正人¹ (1.東工大)

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

〇(M1)菅野翔太¹、大村太郎¹、栗岡智行¹、Chun-Yi Chen¹、町田克之¹、伊藤浩之¹、三宅美博¹、Tso-Fu Mark Chang¹、曽根正人¹ (1.東工大)

9:45 〜 10:00

〇(M1)高畠伸典¹、Cheng Po-wei¹、Chen Chun-Yi¹、栗岡智行¹、曽根正人¹、Chang Tso-fu Mark¹ (1.東工大)

10:15 〜 10:30

〇加藤睦人^1,2、矢作徹¹、山田直也¹、田中秀治² (1.山形県工技セ、2.東北大工)

10:30 〜 10:45

〇近松広輔¹、安宅学¹、小野寺桃子¹、町田友樹¹、年吉洋¹ (1.東大生産研)

10:45 〜 11:00

〇鋪田嚴¹、板谷秀治¹、町田俊太郎¹、鈴木裕輝夫²、田中秀治²、泉学¹ (1.(株)KOKUSAI ELECTRIC、2.東北大)

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

〇桂章皓¹、鶴元真妃¹、廣瀬由紀子¹、佐藤峻²、岩瀬英治²、菅原徹¹ (1.京工繊大、2.早稲田大)