[23a-21C-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30

[23a-21C-2] GaN正ベベル終端形成のための選択成長結晶に対する逆テーパーエッチングの提案

〇大島 孝仁¹、井村 将隆¹、大島 祐一¹、大石 敏之² (1.NIMS、2.佐賀大)

キーワード：

窒化ガリウム,逆テーパー