[23a-21C-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[23a-21C-4] スパッタ法によるAl-rich AlGaNマルチチャネルダイオードの作製

〇小坂 鷹生¹、前田 亮太¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

窒化アルミニウム,AlGaN,スパッタリング