講演情報

[23a-21C-6]有機金属気相成長法による中間層フリーGaN極性反転積層構造の作製

〇池田 和久1、上向井 正裕1、谷川 智之1、片山 竜二1 (1.阪大院工)

キーワード:

半導体,窒化物