[23a-32A-1~7] 17.2 グラフェン

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[23a-32A-4] 絶縁体上への多層グラフェン配線の層交換合成

〇村田 博雅¹、都甲 薫²、村上 勝久¹、長尾 昌善¹ (1.産総研、2.筑波大)

キーワード：

多層グラフェン,配線,層交換

多層グラフェンは高い電気伝導度を有し、配線材料として期待されている。我々は炭素膜の層交換を開発し、高品質な多層グラフェンを絶縁体上に直接合成してきた。本研究では、層交換を薄膜から3次元構造に発展させ、多層グラフェン配線の絶縁体上への直接合成を達成した。