[23a-52A-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[23a-52A-4] B,Nを添加した蛍光SiCにおける不純物濃度の最適化

〇坂 卓磨¹、秋吉 翔太¹、水野 大誠¹、高橋 直暉¹、赤澤 絵里²、鈴木 敦志²、Lu Weifang³、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹ (1.名城大理工、2.E&Eエボ(株)、3.厦門大)

キーワード：

蛍光SiC

蛍光SiCはB、Nを添加した4H-/6H-SiCで、540nm/570nmをピークとするブロードな蛍光スペクトルとなる。蛍光SiCはB濃度N_AとN濃度N_Dの差、N_D-N_Aを低減することで発光効率が向上する。本研究では圧力制御でドーパントソースからのN₂分圧を減らし、N_D-N_Aの低減を試みた。その結果、成長圧力上昇によりN_D-N_Aが低減された。