講演情報
[23a-P06-11]SnO2系透明導電膜のグルコン酸水溶液中での還元と、それを利用した新規パターニング法
〇小川 大輔1、並木 宏允1、宮下 惟人1 (1.都産技研)
キーワード：
SnO2系透明導電膜,ウェットプロセス,パターニング法
SnO2系透明導電膜は希少金属を含まず、ITO透明導電膜の代替材料として期待がかかるが、耐薬品性に優れるがために、ITOでは一般的なウェットプロセスでのパターニングが非常に困難である。今回、グルコン酸水溶液中ではSnO2膜を金属スズに還元したまま保持可能であることを見出した。フォトリソグラフィでマスク作製後に還元を行い、続いて金属スズを酸などで除去することで、SnO2膜をウェットプロセスでμｍスケールでパターニング可能であることがわかった。