講演情報
[23a-P06-23]Pt/Nb:SrTiO3接合における電流緩和特性の制御に向けた界面処理による界面状態への影響の調査
〇瀬戸 大雅1、中村 駿斗1、大谷 亮介1、鄭 雨萌1、木下 健太郎1 (1.東理大先進工)
キーワード：
抵抗変化メモリ,緩和特性,コンダクタンス法
本研究ではPt/Nb:SrTiO3接合の電流緩和現象の制御を行うために，界面処理による界面状態の変化をコンダクタンス法で測定することで，緩和制御に適した界面処理を調査した．具体的には，As Depo，大気アニール，界面層(TiO2)導入の３つのデバイスを用いた．結果として，得られた界面準位密度，エネルギー準位は電流緩和特性との整合が取れなかった．電子トラップ/デトラップによる抵抗変化への寄与に比べて，酸素欠陥移動の効果が優位であることが示唆された．