講演情報
[23p-12E-2]マイクロ波プラズマCVD法を用いたダイヤモンド成長におけるプラズマパラメータの影響
〇新田 魁洲1、嶋岡 毅紘1、山田 英明1 (1.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド,プラズマCVD
ダイヤモンドの結晶成長にはマイクロ波プラズマ化学気相成長(CVD)法が広く採用されるが、プラズマ中の電子や電子励起種が結晶成長に及ぼす影響には未解明な点も多い。そこで、成長雰囲気の積極制御、分光診断によるガス温度・電子密度推定、電子励起反応を考慮した気相化学反応計算を通じて、各種プラズマパラメータと成長速度との相関を評価し、成長速度向上を原料ガス温度上昇のみに依存する従来方式から脱却する可能性を検討した。