[23p-12G-1~14] CS.7 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

15:00 〜 15:15

[23p-12G-6] [第8回薄膜・表面物理分科会奨励賞受賞記念講演] Siドライ酸化におけるSiO₂/Si界面での過剰少数キャリア再結合と化学吸着O2種の役割

〇津田 泰孝¹、吉越 章隆¹、小川 修一²、坂本 徹也¹、山本 善貴³、山本 幸男³、髙桑 雄二^1,4 (1.原子力機構、2.日本大学、3.福井高専、4.東北大学)

キーワード：

薄膜・表面物理分科会