[23p-12J-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

15:45 〜 16:00

[23p-12J-7] 低温ハイブリッド接合応用に向けたSiCN膜の界面特性解析

〇佐藤 亮輔¹、蛯子 颯大¹、大西 洸輝¹、井上 史大¹ (1.横浜国大)

キーワード：

ハイブリッド接合