[23p-12K-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[23p-12K-12] ガラス基板上LSIに向けた異種半導体Complementary TFTの開発

〇(M1)伊藤 悠人¹、永吉 輝央¹、鈴木 翔¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：

シリコン,ゲルマニウム,相補型電界効果トランジスタ