[23p-12K-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

17:15 〜 17:30

[23p-12K-13] プラスチック上のダブルゲート p-ch Cu-MIC poly-Ge TFT および CMOS インバータ実現可能性の検討

〇(B)栗原 義人¹、鈴木 翔¹、土屋 俊之²、奥山 哲雄²、原 明人¹ (1.東北学院大学、2.東洋紡(株))

キーワード：

薄膜トランジスタ,ゲルマニウム,銅を用いた金属誘起結晶化