講演情報
[23p-12K-14]水蒸気低温プラズマジェット照射によるポリシラザンのシリカ転化メカニズム
〇酒池 耕平1、東 清一郎2 (1.広島商船高専、2.広大院 先進理工)
キーワード：
ポリシラザン,SiO2,低温プラズマ
我々はこれまでに、9 kV, 30 kHz の電源を用いてアルゴン(Ar)と水蒸気混合ガスの低温プラズマジェットを生成し、PHPS薄膜 (47 nm) に 2 mm/sの速度でスキャン照射することで、低温 (最高基板到達温度52 ℃) でシリカ転化させることに成功している。本研究では、実時間FT-IR測定により、Arと水蒸気混合ガスの低温プラズマジェット照射にてPHPSがシリカ転化するメカニズムの解明を試みた。