[23p-12K-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

17:45 〜 18:00

[23p-12K-15] Neを用いてスパッタ成膜したガラス上InSb膜の RTA結晶化における膜厚効果

上間 亮ノ佑¹、奥 翔太¹、野口 隆¹、梶原 隆司²、佐道 泰造²、〇岡田 竜弥¹ (1.琉大工、2.九州大)

キーワード：

InSb,急速熱処理