講演情報
[23p-12K-3]Si系ナノ薄膜の微細レーザー加工
〇上杉 祐貴1、小林 哲郎1、小澤 祐市1、佐藤 俊一1 (1.東北大)
キーワード：
レーザー加工,懸架薄膜,フェムト秒レーザー
本講演では、厚さが100 nm以下の懸架Si/SiN薄膜を加工することが可能な、新しいレーザー加工手法を紹介する。適切に調整されたフェムト秒レーザーパルスを用いることで、薄膜に直径70 nm未満の細孔や、数10 μm四方のパターニング加工をシングルショットで形成できる。高精度の描画加工も可能であり、基礎研究レベルのM/NEMS製造に最適な手法であることから、今後の応用展開が期待されている。