講演情報
[23p-12K-5]Si 薄膜のレーザ結晶化における線状 Agglomeration (IV)
〇佐々木 伸夫1、高山 智之2、笹井 陸杜2、浦岡 行治2 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大)
キーワード：
continuous-wave レーザー,TFT,凝集
ガラス 基板上のCLCにおいて、Linear agglomeration によるgrooveがgrained CLC 域に見つかった。EBSDでみると、grooveの底に結晶方位の指数付けが行われている。従って、このgrooveは下地SiO2まで到達していないと考えられる。