[23p-12M-1~13] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

13:45 〜 14:00

[23p-12M-2] オルトケイ酸テトラメチルのカゴ型8量体の成膜技術

〇牧野 孝太郎¹、諸田 美紗子¹、田中 真司¹、内田 紀行¹、五十嵐 正安¹ (1.産総研)

キーワード：

薄膜形成,低誘電率材料,オルトケイ酸テトラメチル

新しい機能を持った半導体デバイスに応用することを目標として、オルトケイ酸テトラメチルのカゴ型8量体[Si8O12][OMe]8 (Q8Me8)を基板上に薄膜を形成する技術を開発した。