講演情報
[23p-12M-6]赤外光熱偏向分光法による低OH濃度石英ガラスの定量評価
〇後藤 民浩1 (1.群馬大理工)
キーワード：
石英ガラス,OH濃度,光熱偏向分光法
赤外線領域に拡張した光熱偏向分光法(IR-PDS)による石英ガラス薄板中の微量OHの定量について報告する。IR-PDSは、光照射中の非輻射過程で発生する熱に基づき、微量OHを検出する。5種類の異なるOH濃度を持つ石英ガラスの赤外吸収スペクトルが調べられた。3640 cm-1付近の(Si)O-Hに関係する伸縮振動に加えて、結合音や倍音、さらに水に起因する吸収が存在することがわかった。IR-PDSは石英ガラス薄板中の1 ppmw以下のOH濃度の定量評価に利用できる。