講演情報

13:30 〜 14:00

[23p-21C-2][第45回優秀論文賞受賞記念講演] スパッタ堆積AlNのFace-to-face法アニールで作製した低らせん・混合転位密度テンプレート上発光波長263nm UV-C LED

〇三宅秀人^1,3、上杉謙次郎^2,3、窪谷茂幸²、正直花奈子¹、肖世玉²、久保雅敬¹、中村孝夫^3,4 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ、4.東大生研)

AlN,UV-C LED