[23p-21C-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

15:00 〜 15:15

[23p-21C-5] [第45回論文奨励賞受賞記念講演] スパッタ法により作製した縮退GaN再成長コンタクトを有するAlN/AlGaN HEMT

〇前田 亮太¹、上野 耕平¹、小林 篤²、藤岡 洋¹ (1.東大生研、2.東京理科大学)

キーワード：

AlGaN,HEMT,スパッタリング