2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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講演情報

15:00 〜 15:15

[23p-21C-5][第45回論文奨励賞受賞記念講演] スパッタ法により作製した縮退GaN再成長コンタクトを有するAlN/AlGaN HEMT

〇前田 亮太1、上野 耕平1、小林 篤2、藤岡 洋1 (1.東大生研、2.東京理科大学)

キーワード：

AlGaN,HEMT,スパッタリング

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