講演情報
[23p-21C-8]損傷のない一括転写技術のためのマイクロLED中空構造の最適化
〇北出 泰己1、西川 敦2、Loesing Alexander2、関口 寛人1 (1.豊技大、2.ALLOS)
キーワード：
マイクロLED,転写技術,中空構造
我々は神経科学研究に応用に向けて，LED中空構造の形成技術と熱剥離シートを用いた転写手法を組み合わせた作製手法を提案し，生体埋め込みフレキシブルLEDフィルムの開発を進めてきた．しかし，中空構造の設計指針が得られていないため，転写後に不必要なゲート構造の残存やマイクロLEDの損傷が観察された．本研究では，マイクロLED中空構造の最適化に向けてゲート構造の形状に着目し，検討を行った．