[23p-31A-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:30 〜 16:45

[23p-31A-14] ラジカル酸化処理による酸化ガリウム薄膜の改質

〇森田 拓海¹、橋本 圭市²、諏訪 智之²、今泉 文伸¹ (1.小山高専、2.東北大未来研)

キーワード：

酸化ガリウム,ラジカル酸化