[23p-31A-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:45 〜 17:00

[23p-31A-15] (-102) β-Ga₂O₃への大気圧下での窒素希釈水素ガスエッチング

〇大島 孝仁¹、富樫 理恵²、大島 祐一¹ (1.NIMS、2.上智大)

キーワード：

酸化ガリウム,エッチング