講演情報
[23p-31A-2]液相エピタキシー法による高品質β -Ga2O3エピタキシャル厚膜の育成
〇田所 弘晃1、陳 智瑨1、宮本 美幸1、嘉村 輝雄1 (1.三菱ガス化学)
キーワード：
酸化ガリウム,エピタキシャル成長
β -Ga2O3のエピタキシャル層の形成には、一般的には気相エピタキシャル成長法が提案されているが、結晶品質、結晶成長速度といった点で検討の余地がある。高品質・高速成長が可能な液相エピタキシー (LPE) 法をβ -Ga2O3基板に適用しホモエピタキシャル成長を試みた例はなく、成長挙動や物性は明らかになっていない。そこで本研究では、β -Ga2O3を基板に用いたLPE成長によるエピタキシャル層の育成を試みた。