講演情報
[23p-31B-15]遷移金属ダイカルコゲナイドのヤヌス化反応における電気伝導特性のその場観測
〇青木 颯馬1,2、中条 博史1,2,3、加藤 俊顕1,2 (1.東北大院工、2.東北大材料科学高等研究所、3.(株)KOKUSAI ELECTRIC)
キーワード：
ヤヌスTMD,電気伝導特性,その場観測
ヤヌスTMDの電気伝導特性をその場観測する装置の開発に成功した。ヤヌスTMDは構造的に不安定であるため、ヤヌス化後のデバイス形成プロセス中に構造が変形してしまうことが多く、詳細な電気伝導特性は世界的に解明されていない。これに対し、本研究では後処理無しで直接ヤヌス化中の電気伝導特性を観測するシステムの開発に成功した。本手法により、今後ヤヌスＴＭＤの詳細な電気伝導特性解明が期待できる。