[23p-52A-1~18] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

13:30 〜 13:45

[23p-52A-3] 高濃度Alドープ4H-SiCにおけるキャリア再結合

〇加藤 正史¹、田中 和裕¹ (1.名工大)

キーワード：

SiC,キャリア再結合