講演情報
[23p-52A-7]光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた有機層/半導体界面の過渡熱伝導の測定
〇Yu Jiawen1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先進理工)
キーワード：
半導体,SiC,界面熱抵抗
パワー半導体パッケージにおいて, デバイス動作中に発生する熱を効率的に外部に排出する必要があり, 界面熱抵抗(ITR) は熱伝達を妨げる大きな要因となっている. しかし, 実験における界面熱抵抗の測定は依然として困難な課題である. 我々が独自に開発を進めている光学干渉非接触温度測定法(Optical-Interference Contactless Thermometry : OICT) は, ウエハの温度変化による反射率変化を解析することで, ウエハ内の過渡温度分布を高い時間・空間分解能で取得することができる. 本研究では, OICTを用いた有機層/半導体界面の界面熱抵抗と過渡熱伝達の測定を行った.