[23p-P04-1~18] 13.8 光物性・発光デバイス

[23p-P04-7] CVD 合成法により作製した ZnS:Tb 薄膜蛍光体層の特性評価

〇藤塚 厳¹、山本 伸一¹、和迩 浩一¹ (1.龍谷大先端理工)

キーワード：

無期EL

無機 ELとは、無機 化合物に電圧を印加することで発光するデバイ スである。薄膜型無機 EL では発光層に印加される電界強度が高くなるため、高輝度化が期待できる。本研究では、低融点材料に有利であ り 10^-2 Pa 程度で成膜が可能な抵抗加熱蒸着装置を用いて Zn:Tb 金属前駆体薄膜を成膜し、6 ゾ ーン式管状炉にて硫黄(S)を供給することで ZnS:Tb 緑色発光層の作製を検討した。