講演情報
[24a-12E-4]新型ナノX線CT装置を用いた半導体アプリケーション
〇大垣 智巳1、Yun Wenbing2、Lewis Sylvia2、Lau SH2 (1.キヤノンMJ、2.Sigray Inc.)
キーワード：
X線CT,高空間分解能,半導体
長年、実験室レベルの汎用X線CT装置は、空間分解能500nmが限界値でした。一方、光学系にフレネルゾーンプレートを用いた空間分解能数10nmのX線CT装置は、X線回折を用いるため、X線エネルギーが5～8keVと低く、直径数10mmに試料を切り出して測定する必要がありました。Sigray社は、新型ナノX線CT装置を開発し、空間分解能300nmを達成しました。本講演では、新型ナノX線CT装置の新技術の紹介と半導体アプリケーションの結果を示します。