[24a-12F-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥 | 2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[24a-12F-1~11]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2024年3月24日(日) 9:00 〜 12:00

12F (1号館)

鳥越和尚(SUMCO)、神山栄治(GWJ)

9:00 〜 9:15

[24a-12F-1]CZ-Si結晶育成時における結晶内温度分布の輻射率依存性

〇柿本浩一¹、中野智² (1.東北大 NICHe、2.九大　応力研)

9:15 〜 9:30

[24a-12F-2]CZ-Ga₂O₃単結晶成長時における結晶ねじれの要因解析

〇柿本浩一¹、富田健稔²、Vladimir Kochurikhin²、鎌田圭⁴、中野智³、吉川彰⁴ (1.東北大 NICHe、2.C&A、3.九大応力研、4.東北大金研)

9:30 〜 9:45

[24a-12F-3]第一原理計算を用いた、Si結晶の弾性率におけるドーピング効果見積もり

〇神山栄治^1,2、末岡浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大)

9:45 〜 10:00

[24a-12F-4]スレーターコンドンパラメータの第一原理計算

〇稲垣淳¹ (1.無所属)

10:00 〜 10:15

[24a-12F-5]線形回帰機械学習モデルに基づくSi−O二元系の全エネルギー予測

〇野田祐輔¹、神山栄治^1,2、岩城浩也²、末岡浩治¹ (1.岡山県立大情報工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン(株))

10:15 〜 10:30

[24a-12F-6]デジタルツインによるCzシリコンウェーハ中の酸素析出挙動の高速予測

〇楠木琢也¹、永井勇太¹、前田進¹、番場博則¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン（株）)

10:45 〜 11:00

[24a-12F-7]PL法によるSi中のSbドナーの定量分析 (1) 検量線

〇宮村佳児¹、酒見亮佑¹、林大吾¹、西澤伸一¹、田島道夫² (1.九大　応力研、2.NPERC-J)

11:00 〜 11:15

[24a-12F-8]PL法によるSi中のSbドナーの定量分析 (2) SbとP共ドープ試料の定量

〇林大吾¹、酒見亮佑¹、宮村佳児¹、西澤伸一¹、田島道夫² (1.九大応力研、2.NPERC-J)

11:15 〜 11:30

[24a-12F-9]Si系分子イオン注入SiエピタキシャルウェーハのFeゲッタリング挙動

〇廣瀬諒¹、柾田亜由美¹、門野武¹、奥山亮輔¹、小林弘治¹、鈴木陽洋¹、永友翔¹、古賀祥泰¹、栗田一成¹ (1.株式会社SUMCO)

11:30 〜 11:45

[24a-12F-10]炭化水素分子イオン注入Siウェーハ表面のアモルファス形態に対する再結晶化モデル解析

〇小林弘治^1,2、奥山亮輔¹、門野武¹、柾田亜由美¹、廣瀬諒¹、鈴木陽洋¹、古賀祥泰¹、末岡浩治³、栗田一成¹ (1.SUMCO、2.岡山県大院情報系工、3.岡山県大情報工)

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[24a-12F-11]SiO₂/Si界面における歪状態変化に対する水素の影響

〇鈴木陽洋¹、奥山亮輔¹、小林弘治¹、門野武¹、柾田亜由美¹、廣瀬諒¹、古賀祥泰¹、高橋和敏²、栗田一成¹ (1.株式会社SUMCO、2.佐賀大学シンクロトロン光応用研究センター)

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