[24a-12F-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

10:15 〜 10:30

[24a-12F-6] デジタルツインによるCzシリコンウェーハ中の酸素析出挙動の高速予測

〇楠木 琢也¹、永井 勇太¹、前田 進¹、番場 博則¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン（株）)

キーワード：

デジタルツイン,ニューラルネットワーク,BMDシミュレータ