[24a-12F-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

10:45 〜 11:00

[24a-12F-7] PL法によるSi中のSbドナーの定量分析 (1) 検量線

〇宮村 佳児¹、酒見 亮佑¹、林 大吾¹、西澤 伸一¹、田島 道夫² (1.九大　応力研、2.NPERC-J)

キーワード：

シリコン,フォトルミネッセンス,アンチモン

Sb濃度水準を振ったSbドープSi結晶のPL測定に基づき、自由励起子とSb束縛励起子の発光強度比を濃度指標とした検量線を作成することにより、Sbの定量測定が可能であることを実証した。