[24a-12H-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

9:15 〜 9:30

[24a-12H-2] Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響

〇道古 宗俊¹、松井 尚子¹、入澤 寿和¹、恒川 孝二¹、中村 美子²、岡本 一輝²、舟窪 浩² (1.キヤノンアネルバ、2.東工大 物質理工学院)

キーワード：

強誘電体薄膜,AlScN,FeRAM

ウルツ鉱構造を持つAlScN膜は、強誘電体メモリ (FeRAM) 向け材料として研究されている。AlScNを用いたFeRAMにおいて、Ptは適した電極材料の候補である。Ptは貴金属であることから、FeRAMのコストを下げるためには、膜厚を必要最低限に抑える必要がある。しかし、Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響について、まだ十分に議論されていない。本研究では、Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響について、AlScNの結晶性を中心に調べた。