[24a-12K-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

10:00 〜 10:15

[24a-12K-5] スパッタ法で作製した B-ion-implanted p-BaSi₂膜を用いた太陽電池

〇佐藤 匠¹、竹中 晴紀¹、Du Rui¹、幸田 陽一朗²、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：

半導体,太陽電池,スパッタ