講演情報

[24a-22A-6]GaAs系ナノワイヤにおけるアニール処理温度が光学特性へ与える影響

〇橋本 英季1,3、飯田 竜雅2,3、後藤 拓翔2,3、峰久 恵輔1,3、中間 海音1,3、石川 史太郎3 (1.北大情科院、2.北大工、3.北大量子集積セ)

キーワード:

半導体ナノワイヤ,分子線エピタキシー,アニール