[24a-52A-1~9] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

9:00 〜 9:15

[24a-52A-1] HVPE基板およびOVPE基板上GaNエピ層の特性評価

〇古橋 優¹、石井 達也¹、宇佐美 茂佳²、森 勇介²、渡邉 浩崇³、新田 州吾³、本田 善央³、天野 浩³、加藤 正史¹ (1.名工大院工、2.阪大院工、3.名大未来研)

キーワード：

窒化ガリウム