講演情報
[24a-61B-7]カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイアス寄与度の局所的顕在化
〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉3、石川 健治3、関根 誠3、堀 勝3 (1.名大院工、2.九大シス情、3.名大低温プラズマ)
キーワード：
アモルファスカーボン,機械学習,プラズマCVD
アモルファスカーボン薄膜のハードマスク性能の向上のため、一般的にトレードオフの関係にあるプラズマエッチ耐性の向上と内部応力の低下の両立を目標として、成膜機構の解明に取り組んでいる。今回、機械学習を用いてエッチ耐性を最適化した膜において、特異的に内部応力も小さくなることを見出した。質量分析計を用いた粒子計測および種々の膜特性解析に基づき、膜特性発現機構を考察する。