[24a-61B-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 | 2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:30

61B (6号館)

豊田紀章(兵庫県立大)

9:00 〜 9:15

〇(B)渡邊翔斗¹、山口貴大¹、周順¹、中村圭二¹、近藤博基²、小川大輔¹ (1.中部大、2.九州大)

9:15 〜 9:30

〇寺井弘和¹、妻屋円¹、辻理¹ (1.サムコ株式会社)

9:30 〜 9:45

〇竹中弘祐¹、小鑓亮輔¹、重森俊祥¹、中本壮太郞¹、陣田尭哉¹、都甲将¹、内田儀一郎²、節原裕一¹ (1.阪大接合研、2.名城大理工)

9:45 〜 10:15

〇江利口浩二¹ (1.京大院工)

10:30 〜 10:45

〇布村正太¹、堤隆嘉²、深沢正永¹、堀勝² (1.産総研、2.名大)

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

〇郷矢崇浩¹、占部継一郎¹、江利口浩二¹ (1.京大院工)

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

〇安藤悠介¹、近藤博基²、堤隆嘉³、石川健治³、関根誠³、堀勝³ (1.名大院工、2.九大シス情、3.名大低温プラズマ)

11:15 〜 11:30

〇(M2)都地一輝¹、堤隆嘉²、蕭世男²、関根誠²、堀勝²、石川健治² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)