2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[24a-61B-1~8]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:30
61B (6号館)
豊田 紀章(兵庫県立大)
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9:00 〜 9:15

[24a-61B-1]プラズマによる多層カーボンナノチューブのイソシアネート基修飾におけるプラズマ生成ガス混合比の効果

〇(B)渡邊 翔斗1、山口 貴大1、周 順1、中村 圭二1、近藤 博基2、小川 大輔1 (1.中部大、2.九州大)
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9:15 〜 9:30

[24a-61B-2]減圧水蒸気プラズマを用いた金表面の還元処理

〇寺井 弘和1、妻屋 円1、辻 理1 (1.サムコ株式会社)
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9:30 〜 9:45

[24a-61B-3]大気圧高周波プラズマジェットを用いた表面処理によるエンジニアリングプラスチックと金属の異材接合

〇竹中 弘祐1、小鑓 亮輔1、重森 俊祥1、中本 壮太郞1、陣田 尭哉1、都甲 将1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工)
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9:45 〜 10:15

[24a-61B-4][第45回解説論文賞受賞記念講演] 電子デバイスにおけるイオン照射誘起欠陥形成（プラズマプロセス誘起ダメージ）とその評価手法

〇江利口 浩二1 (1.京大院工)
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10:30 〜 10:45

[24a-61B-5]プラズマ誘起欠陥の発生と修復～RIE-SiO2に伴うSiO2/Si界面の欠陥評価～

〇布村 正太1、堤 隆嘉2、深沢 正永1、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)
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10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[24a-61B-6]プラズマ誘起ダメージが繰り返しナノインデンテーション粘弾性特性に及ぼす影響

〇郷矢 崇浩1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)
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11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[24a-61B-7]カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイアス寄与度の局所的顕在化

〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉3、石川 健治3、関根 誠3、堀 勝3 (1.名大院工、2.九大シス情、3.名大低温プラズマ)
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11:15 〜 11:30

[24a-61B-8]パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布の時間分解測定

〇(M2)都地 一輝1、堤 隆嘉2、蕭 世男2、関根 誠2、堀 勝2、石川 健治2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
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