[24a-P06-1~17] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[24a-P06-7] 熱ナノインプリント法と反応性プラズマ成膜法を組み合わせて形成したITOグレーティングカプラーでの表面プラズモン共鳴

〇蓮池 紀幸¹、前田 剛志¹、岡田 悠悟²、前原 誠²、木下 公男²、武田 実¹ (1.京都工繊大、2.住友重機械工業(株))

キーワード：

表面プラズモン共鳴,熱ナノインプリント,反応性プラズマ成膜法